半導(dǎo)體工業(yè)隨著汽車(chē)制造，人工智能，物聯(lián)網(wǎng)，工業(yè)4.0等 域的飛速發(fā)展，面臨著產(chǎn)能，可靠性，供應(yīng)鏈成本等重大挑戰(zhàn)。雅斯科的壓力測(cè)量技術(shù)和產(chǎn)品，包括配備CVD傳感元件的高純壓力傳感器以及使用 Si-Glas? 超薄單晶硅膜片可變電容傳感元件的微差壓傳感器，在諸如氣體控制面板，氫氣壓力檢測(cè)，以及潔凈室關(guān)鍵環(huán)境控制等應(yīng)用 域，為半導(dǎo)體制程和設(shè)備提供精確的測(cè)量和有效的保障。

　　

　　高純氣體的純度至少為99.999%，其清潔度水平超過(guò)制藥行業(yè)的 萬(wàn)倍甚至更多。如此高標(biāo)準(zhǔn)的要求是基于半導(dǎo)體制程的精密性，也因?yàn)橹瞥?旦被污染所造成的損失巨大。實(shí)際上某些設(shè)備涉及多達(dá)400個(gè)工藝步驟，也增加了被污染的機(jī)率。

　　

　　因此壓力傳感器必須具有高準(zhǔn)確性，高潔凈度，接液材質(zhì)應(yīng)能與多種氣體兼容，同時(shí)應(yīng)確保介質(zhì)和顆粒潴留的可能性降到 低程度。部分應(yīng)用場(chǎng)合需要符合氣密性要求。

　　

　　雅斯科ZT/ZX/ZL系列高純壓力傳感器基于CVD傳感元件平臺(tái)，是超純應(yīng)用的專用壓力傳感器產(chǎn)品，其產(chǎn)品特性包括能適應(yīng)不同介質(zhì)的接液元件材質(zhì)，如316L, A286，Co-Ni 合金等，也包括VCR接頭，以及符合規(guī)范的表面光潔度和測(cè)量精度。每臺(tái)產(chǎn)品都經(jīng)過(guò)泄漏檢測(cè)(<5 x 10?? atmcc/s)以及雙重包裝處理，確保完整性和潔凈度。

　　

　　CVD傳感元件技術(shù)，是以化學(xué)氣相沉積的工藝(Chemical Vapor Deposition)，使多晶硅薄膜與接液基座形成原子 別的牢固結(jié)合，是確保ZT/ZX壓力傳感器的穩(wěn)定性與可靠性的關(guān)鍵。

　　

　　雅斯科GX/CX/DX等微差壓傳感器產(chǎn)品基于MEMS制造的的Si-Glas? 超薄單晶硅膜片可變電容傳感元件，采用雅斯科TruAccuracy?技術(shù)進(jìn)行校驗(yàn), 充分考慮零點(diǎn)和滿量程誤差，可選SpoolCal?設(shè)計(jì)，允許在線標(biāo)定和校驗(yàn)。

　　

　　Si-Glas傳感元件使用的硅膜片具有良好的彈性和延展性，金屬和晶體通過(guò)濺射的方式與硅片牢固結(jié)合，因此傳感元件具有良好的溫度范圍和安裝位置變化的適應(yīng)性，具有良好的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。這是雅斯科特有的技術(shù)，也是確保雅斯科的微差壓傳感器精確可靠的關(guān)鍵。